Rigaku利用世界一流的研究基礎設施加速次世代半導體量測技術的發展
東京--(美國商業資訊)--全球領先的X射線分析系統解決方案合作夥伴、Rigaku Holdings Corporation(總部:東京都昭島市,執行長:川上潤,簡稱「Rigaku」)旗下集團公司Rigaku Corporation宣布,將利用全球研究資源,拓展其面向次世代半導體的量測技術研發。
本新聞稿包含多媒體資訊。完整新聞稿請見此: https://www.businesswire.com/news/home/20260512083653/zh-HK/
作為該計畫的一部分,Rigaku與總部位於比利時的世界領先半導體研發創新中心imec進行為期三年的合作研發。透過該合作,Rigaku將推進其核心X射線技術的發展,包括3D元件量測、超薄膜和微量元素的高靈敏度檢測以及微觀缺陷的無損檢測。
隨著半導體裝置向環繞式閘極(GAA)和互補式場效電晶體(CFET)1等先進架構發展,以及儲存密度不斷提高,製造流程也變得日益複雜。這些因素推動了對高精度、無損測量和檢測技術的需求成長,以支援穩定的大規模生產。Rigaku透過提供高價值、差異化的量測和檢測解決方案來滿足這些需求。
重點領域
- 先進邏輯:CFET元件的量測與檢測技術
- 光罩量測:極紫外光(EUV2)微影製程中光罩劣化之評估
- 先進打線接合與封裝3:無損檢測技術
- 先進記憶體:3D DRAM(次世代儲存裝置)中奈米結構的評估
Rigaku半導體量測事業部執行長暨總經理Markus Kuhn評論道:「預計到2030年,Rigaku在先進AI半導體領域量測與檢測產品的服務可觸及市場(SAM)規模將達到約10億美元。為因應市場成長,Rigaku將持續推出高價值且具差異化的產品,目標是取得該SAM 50%的市佔率。強化與imec的合作關係,將進一步提升我們在高附加值量測與檢測領域的競爭力,並支援中長期成長。」
1 GAA/CFET:環繞式閘極/互補式場效電晶體。次世代元件架構,其中n型和p型電晶體垂直堆疊,以超越奈米片(GAA)技術的裝置密度。
2 EUV微影:先進半導體製造的核心技術,可形成超精細電路圖案。
3 先進封裝:將多個半導體晶片整合在一起的封裝技術,可提高效能並降低功耗。
關於Rigaku Group
自1951年創立以來,Rigaku集團的工程專業團隊始終致力以尖端科技造福社會,尤其在X射線與熱分析等核心領域成果卓著。業務遍及全球136個國家與地區,旗下9個國際據點約2,000名員工,使Rigaku成為產業與研究分析機構的解決方案夥伴。在維持日本市場極高市佔率的同時,我們的海外銷售比例已達約70%,並持續與客戶共同發展成長。隨著應用領域從半導體、電子材料、電池、環境、資源、能源、生命科學延伸至其他高科技範疇,Rigaku正實踐「以嶄新視角驅動創新,改善我們的世界」的使命。
如需詳細資訊,請造訪: rigaku-holdings.com/english
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