DB HiTek完成8英吋1200V碳化硅MOSFET工藝可靠性認證
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- 建成全球首套完整8英吋碳化硅(SiC)代工工藝流程
- 向客戶交付第一代、第二代工藝設計套件(PDK),第三代PDK計劃於11月推出;有望將產品開發週期縮短一年以上
韓國首爾2026年9月9日 美通社 -- 韓國領先的純代工模式8英吋晶圓代工廠DB HiTek宣佈,其基於8英吋(200毫米)晶圓的1200V碳化硅(SiC) MOSFET工藝已順利完成可靠性認證。該成果是該公司進軍8英吋SiC代工市場的重要進展,計劃於2027年實現量產。通過本次認證,DB HiTek計劃加大對客戶產品開發的支持力度,拓展新客戶,並加快推進2027年量產的各項籌備工作。
SiC屬於下一代功率半導體材料,在高溫高壓工況下性能優於傳統硅(Si)材料,非常適用於電動汽車(EV)、新能源系統及工業功率設備。當前SiC市場仍以6英吋晶圓為主,全球各大半導體廠商正轉向8英吋晶圓,以此提升生產效率和成本競爭力。為順應這一市場轉型趨勢,DB HiTek開發了8英吋SiC工藝技術,搭建起自己的代工服務能力。
通過對大功率SiC MOSFET工藝的優化,DB HiTek實現了具備競爭優勢的電學特性與高可靠性。公司搭建完成了全球首套完整1200V 8英吋SiC代工工藝流程,打造出可覆蓋客戶設計、製造、電學特性表徵及可靠性認證全環節的代工服務平台。
為加快8英吋SiC代工業務商業化落地,DB HiTek向客戶提供了其專有第一代與第二代1200V SiC MOSFET工藝對應的工藝設計套件(PDK)。第三代PDK計劃於今年11月發佈。借助該類PDK,客戶可削減開發初期所需投入的資源,加速樣片流片,並將產品開發週期縮短一年以上。
該PDK支持的第二代工藝,在柵極導通電壓(Vgs(on))=18V的條件下,可實現比導通電阻(Rsp)≤2.5 mΩ・cm,閾值電壓(Vth)≥3 V,目前已完成工藝開發中高難度的可靠性認證。
計劃於11月推出的第三代工藝正在開展認證工作,其目標為:同樣在18V柵極導通電壓條件下,比導通電阻≤2.3 mΩ・cm;同時短路安全工作區(SCSOA)內的短路耐受時間(SCWT)不低於2.5 μs。認證全部完成後,DB HiTek將向客戶提供第三代PDK。
DB HiTek計劃於今年第三季度完成工藝籌備,優先向長期合作客戶開放使用;2027年第二季度面向全部客戶正式開放這項代工服務。
DB HiTek相關負責人表示:「本次1200V SiC MOSFET工藝可靠性認證的完成,意義重大,標誌著我們已掌握全球首項8英吋SiC代工服務所需的核心工藝技術與製造基礎。我們將持續推進2027年8英吋SiC量產的籌備工作,力爭佔據市場席位,提升公司在下一代功率半導體代工領域的競爭實力。」
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